Analytiker hade i snitt räknat med en nettovinst på cirka 1,6 miljarder euro, enligt en sammanställning av prognoser gjord av Refinitiv.
Omsättningen lyfte till 5,24 miljarder euro, upp från 3,96 miljarder euro.
ASML:s framgångar bygger på en global halvledarbrist, vilket fått halvledarindustrin att satsa stort på nya produktionsanläggningar.
– Efterfrågan fortsätter att vara hög, säger vd Petter Wennink i en kommentar.